Подрядчику предстоит провести научно-исследовательскую работу (НИР) под шифром «Фотолиз». Ее актуальность объясняется прекращением поставок фоторезистов и антиотражающих покрытий иностранного производства для изготовления субмикронных интегральных схем. Российские разработки аналогичных материалов и их производство в настоящее время отсутствуют.
Фоторезист – это светочувствительный полимерный материал, который наносят на обрабатываемый материал в ходе фотолитографии или фотографировки, чтобы получить на поверхности обрабатываемого материала «окна» для доступа травящих веществ. В настоящее время таким способом получают интегральные схемы в микроэлектронике.
В октябре 2022 года стало известно, что разработка первого отечественного литографа в России началась в нижегородском институте прикладной физики РАН. Полноценно оборудование сможет начать работу к 2028 году. «Альфу машину» планируют создать к 2024 году, на которой можно будет проводить полный цикл операций, писал портал CNews.
Итогом НИР станет разработка и производство фоторезистов марок ФР248-01, ФР248-02, ФР248-03, ФР248-04, ФР248-05, а также двух антиотражающих покрытий марок ПА248-01 и ПА248-02. Подрядчик проведет теоретические и экспериментальные работы, займется подготовкой и освоением производства, разработает документы технологического процесса, методики измерений параметров материалов и метрологической экспертизы. Фасовать материалы планируется в тару из темного стекла с ориентировочным объемом 3,8 литра. Испытания будут проводиться путем отбора проб из транспортной тары или ее подключения к оборудованию предприятия-потребителя, а измерение счетной концентрации частиц в технологическом оборудовании исполнителя.
Опытная партия материалов для проведения испытаний должна быть получена на установках со следующей производительностью: • марки ФР248-01, не менее 1000 кг/год; • марки ФР248-02, не менее 360 кг/год; • марки ФР248-03, не менее 780 кг/год; • марки ФР248-04, не менее 430 кг/год; • марки ФР248-05, не менее 80 кг/год; • марки ПА248-01, не менее 1000 кг/год; • марки ПА248-02, не менее 470 кг/год.
Потенциальными потребителями фоторезистов станут АО «Микрон» и ООО «НМ-Тех» . В октябре Минпромторг заявил о подписании соглашения, в рамках которого специалисты завода «Микрон» помогут компании «НМ-Тех», которая перезапускает обанкротившийся завод «Ангстрем-Т» экс-министра связи Леонида Реймана , наладить выпуск чипов для банковских карт и биометрических паспортов, а также медицинских полисов.
Завершить работы подрядчику надлежит до 12 декабря 2025 года. Подать заявку можно до 2 марта, итоги подведут 9 числа. Аукцион проводится в рамках 44-ФЗ.